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PT-320
PT-320
综合型高精度半自动探针台,满足多样化的测试需求
全新一代高精度定位平台(定位精度±2μm)
开放式面板设计,搭配不同组件,实现更加丰富的测试功能
自动对针功能,更适用于集成电路多芯同测和倒扣扎针的测试需求
常高温、高温、恒温等CHUCK可选
抽测功能,可实现晶圆片上不等距步进,任意点测试
具有多Bin分类显示Mapping功能,任意分析晶圆片参数分布情况
高精密光学模组,结合最新图像软件算法,实现探针自动精确定位,安全可靠全自动测试;
CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷;
应用领域
4-8英寸分立器件、功率器件、集成电路、射频器件、光芯片等晶圆的半自动探针测试
测试应用
WAT测试
光芯片测试
高低温测试
射频测试
高压测试
大电流测试
低漏电测试
低阻测试
主要功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
自动对针功能
自动晶圆对准功能
晶圆厚度自动检测功能
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