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PT-920B
PT-920B
8英寸高精度全自动探针台
高精度定位平台(定位精度±2微米)
可满足1000根探针测试,可用于多芯同时探测,提升产能效益
高精密光学模组,结合最新图像软件算法,实现探针自动精确定位,安全可靠全自动测试
独特机械手吸附技术,解决Taiko\超薄\翘曲等晶圆片无损自动上下料传输
CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
主要功能
CHUCK自动清理功能
晶圆ID自动读取
自动打点
晶圆厚度自动检测功能
自动晶圆对准功能
自动对针功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
测试应用
坏点重测
射频测试
高压测试
大电流测试
高温测试
特殊应用
无Notch预对准
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适用于5~8英寸集成电路晶圆的自动探针测试。整机特别针对集成电路多芯多探针及高定位精度的测试需求进行设计,可以满足2000根探针以下的单芯或多芯测试,配备全自动上下片系统,具有高精度、高刚性,高稳定性的特点;自动对针提高了对准精度,方便客户多针、多芯测试需要
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适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
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8英寸全自动探针台
适用于4~8英寸半导体集成电路、分立器件晶圆的全自动探针测试。配备有高可靠性自动上下片系统,高精度CCD视觉定位系统,自动化程度高。更具有薄片传输能力,应用面广,尤其满足大功率分立器件(IGBT、MOSFET)测试
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8英寸高精度半自动探针台
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
PT-308T
8英寸高精度半自动探针台
适用于 4~8 英寸集成电路与分立器件晶圆的自动测试。本机具备有多样灵活的测试方式及丰富的 MAPPING 处理功能。产品设计满足了多芯、长针卡测试的需要,并可根据测试需求选配视觉系统实现自动扫描、定位,还可增配进行高温、高压测试