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PT-9200
PT-9200
8英寸全自动探针台
高精度定位平台(定位精度±2微米）
独特机械手吸附技术，解决Taiko/超薄/翘曲等晶圆片无损自动上下料传输
可满足2000根探针测试，用于多芯同时探测,提升产能效益
高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位，安全可靠全自动测试
CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式
适配多种类型的测试机
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件类晶圆测试
测试应用
先进封装测试
高压测试
WAT测试
大电流测试
坏点重测
WAT测试
晶圆无损转运测试
高温测试
RF射频测试
高低温测试
主要功能
CHUCK自动清理功能
晶圆ID自动读取
自动打点
晶圆厚度自动检测功能
自动晶圆对准功能
自动对针功能
针痕检测功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品
特殊应用
无Notch预对准
遮光处理
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